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杭州雅视特玖智能科技有限公司
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粗糙度轮廓度测量仪
- 名称:粗糙度轮廓度测量仪
- 型号:SURFCOM NEX 031DX-13
- 品牌:
- 编号:
>>>技术描述>>>
a. 轮廓传感器
A. 指示精度:±(1.5+|2H|/100)μm;
B. 测量范围:60mm;
C. 分辨率:0.04μm(全量程);
D. 测力:10mN~30mN;
b. 粗糙度传感器
A. 量程:6.4~1000μm;
B. 分辨率:0.1~20nm(随量程变化);
C. 测力:0.75mN;
c. 驱动部:
A. 指示精度:±(1.0+L/100)μm L=测量长度(mm);
B. 直线度:
Ø 粗糙度时:(0.05+L/1000)μm L=测量长度(mm);
Ø 轮廓:1.0um/100mm;
C. 分辨率: 0.016μm(全量程);
D. 速度:
Ø 0.03~60mm/s(移动时);
Ø 0.03~20mm/s(测量时);
d. 立柱
A. 移动范围:450mm;
B. 立柱移动速度:10mm/s;
e. 电源要求:
A. 电压:220V±10%;
B. 接地:必须接地,小于10V;
C. 频率:50Hz;
D. 功率:670W;
f. 气源要求:(除震台用)
A. 供给压力:0.6-0.8MPa;
B. 使用压力: 0.4MPa;
g. 使用环境:
A. 动作保证温度:10~30℃;
B. 精度保证温度:20±5℃;
C. 保管:5~40℃;
D. 湿度:40~60%以下,不可结露。